“咳咳”沈丹青重重地咳嗽了两声,提醒下大家,以示自己在注意他们。
最后还是洪涛避无可避,才不得不站起来说:“老板,我在美国接触过,虽然己是过时的技术了,但万变不离其宗。原理我想来,不会变。”
起了开头,他才正式的讲解道:
“光刻机又叫掩模对准曝光机,是利用照相机的原理,将电子工程师设计的电路图分多步骤转移到硅晶圆的方法。这里面最难的是激光技术和机械控制精度。但这两点其实我们早已经解决了,不得不说,老板真是高赡远嘱啊!
我先说,激光的重要性。一般光刻机上所用的激光都是紫外光,据我到公司以来,才了解。紫外光也分等级,普通的紫外光也叫UV,它的光波振幅是365Nm,第二种叫深紫外光,也叫DUV,又叫准分子极光,它的光波振幅减少到248Nm到193Nm,是我们早在九二年就请清华大学光电研究所,研究出来的技术。还有一种是我们为了提高纳米级数控机床的控制精度而研究出来的,我们叫极深紫外光又叫EUV,它的光波振幅只有10到15Nm。
光波振幅越小,意味着光刻精度越高。光波振幅小,能量密度就大,激光只要照射一次,就能在光刻胶上留下清晰的图形。因此,我敢说在激光技术方面,我们已经达到了世界领先。
第二个重点,机械控制技术,就不用我说了,我们已是世界领先,机械精度达到了纳米级水平。而且我们的机械控制技术与国外完全不同,在老板的指点下,我们采用的是非接触式电磁控制直线电机,完全实现了电信号控制,最高精度可以达到1纳米,这还是因为我们只采集了这个等级的数据。而据我所知,国外还在采取纯机械控制技术,他们还在热衷于滚珠丝杠和空气轴承等技术。控制精度至少与我们相差两个量级。
因此,我们研制光刻机已经没有技术难度。相反研制离子注入机,却有不少困难。
离子注入机就利用离子溅射的原理,来对已刻划好的晶体管进行掺杂,以达到我们需要的电学性能。
这里面有两个技术难点,第一是高温。高温会令微小的晶体管变形,因此我们需要想办法让温度降下来。第二,就是离子的轰击力度,力度过大,容易对晶体管造成损伤,力度过少,又达不到我们需要掺杂的目的。”
说到这里,他就偷看了一下老板,看他是否满意自己的讲解,发现一切没问题,他才做总结发言:
“我就讲这么多,有不足的地方请大家补充。谢谢!”
洪涛说完就坐下了,他是赶鸭子上架,没有办法,谁让他是留美博士,接触过这方面的知识。如果他一直缩着不出头,到时老板也会点他的名,那还不如自己主动,给老板的心里留下好印象。
接下来当然没有谁再发言了,这又不是什么美差。沈丹青等了几分钟,见没有人再站起来发言,就开始讲话:“刚才,洪所长的发言,非常有见地,基本上将重要的注意事项都点明了,我就不再多说了。我知道的还没有你们在座的任何人多,但我有几点要求。第一就是良品率,这是硬指标。第二就是效率,要有大规模生产的能力。我预计我国今后会用到大量的芯片,我们必须能迅速满足这个要求。从低端的16位元到中端的32位元,再到将来的高端64位元芯片,我们都要能大量提供。
为了更好的提高你们的积极性,我提早向你们透露一个好消息。今后我们集团的公司,我规划为三类公司。
第三类为生产面向社会人群的产品的公司,这一类公司的特点,就是需要有社会影响力,也就是说需要打广告。
第二类为生产面向企业的产品。如:机床、机械、芯片、零部件、生产线等等。或者是产品设计等虚拟化产品。这类企业的特点,就是生产第三类企业所必须的零部件和其它必须品。
第一类企业,则是生产第二类企业所必须的设备或技术授权等。是处在工业食物链最高端的存在。
我打算,到了长沙以后。允许你们独资或合资开办第一类和第二类企业,当然合资也仅仅是内部合资。我们不接受任何外来资本。
这次的芯片生产设备,算作是你们的第一家合资公司。所有参与的单位,都算作合资股东,具体占股比例,你们自己商议,然后报告给我批准执行。
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