总,数控部分,你们能解决吧!”
“没问题,这个数控系统比数控机床简单多了,只有几个直线动作和机械臂的输送动作的协调,我们几天就可以解决,只是数据采集要花点时间,我打算要学员们干,让他们历练历练。”卢汝成表示很简单,他还打算只要学员们干,当然他们得把关。
“那就好,你们没问题,就真的没问题了。我先和大伙说说我对光刻机的设想,据我所知,光刻机根据曝光方法的不同分为:接触式、非接触式和聚焦式三种。
接触式是以前的老方法,缺点太大,我就不讲了。聚焦式虽然更先进,但难度也最大,我们目前还没有这个需要,可以做为以后的研究课题。为了赶时间,我打算这次就采取非接触式,符合我们目前的制程工艺,最高精度可以达到二十纳米以内,目前来讲完全足够了。相反,我们的芯片设计还没赶上来,这次就只试制十六位元的芯片,精度只要达到U米级就够了,洪所长你们扯后腿了啊!”
郭东又开了洪涛的玩笑,不过这却是实情。洪涛也很无奈,芯片设计很复杂,需要大量的熟练人手。跟老板说得一样,要设计纳米级芯片,至少得有几千熟练电子工程师,否则想都不要想。
想到这些,洪涛接过话头说道:“目前我们只能设计一些简单的芯片,连32位元的芯片都要花大量时间才行,至少一年计,我们的熟练人手太少了,实在没办法。老板也知道我们是短板,因此我还被老板批过。唉!”
“好啦!既然老板已经批评了,我们就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑,然后正式说道:“非接触式光刻的技术要点就是激光头、掩模板还有基片要无限接近,最好只相差几个纳米,这样才能保证最大的精度。这是属于一种1:1投影技术或者说光刻技术,对掩模板的制作要求非常高,卢总,能不能将设计图进行电子图缩小?而不是光学缩小?”
“理论上是可以的,我们尽量想办法,也就是说我们根本不搞纸质图纸了,直接用电子图纸投影曝光?”涉及到他的专业,卢汝成想也没想就回答了。
这时洪涛也获得了灵感,因此接过了话头说道:“我打算采用液晶投影技术,液晶是一种分子级别的化合物,只要我们技术足够,那么控制精度可以无限小,我相信它能够很好的解决1:1电子图形缩小问题。我们就不走国外那套老路了,那样太复杂,而且精度不够。”
“也只有你才知道国外是怎么搞的,我们从来都是自己搞自己的,不也很好吗?只要我们达到了目的就够了。”
这时王波也插话说道,他对国外是怎么搞的是真不懂,他的话没有半句水份。
“洪所长这个主意很好,这样电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。
“这样我们是不是可以取消掩模板呢?”
郭东提出了一个大胆的设想。
“当然不行,液不能代替掩模板,因为液晶屏是通过光的偏振原理,来实现图像显示的。它根本就不可能实现,高精度光刻,不过我们可以试一试,让液晶屏代替光刻机,给掩模板显影电子图形,如果能够做到,也是一种了不得的进步,能节省很多步骤。
不过我们必须研究出一种,对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候,又能有效的保护未被光照的镀铬层。”
“王所长,这点你们能解决吧!”洪涛先给郭东解释了液晶原理,然后又问王波道。
“没问题。自从研究光刻胶以来,我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质,给掩模板用的光刻胶,我们已经研究出来了。效果怎么样?要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。
“那太好了,那我们就试试吧!”郭东激动的说道
由于这次用途的特殊原因,他们不需要复杂的液晶技术,只需要第一代液晶技术,即TNLCD。就是简单的黑白屏,白光就是电路图,如果掩模板与液晶屏隔得足够近的说,也可以留下满意的电路图形。
还有一点与普通的液晶屏不同,这里的背景光源是强光源,他不是给人看的,而是专为掩模板曝光的。
当然缺点也很明显,由于液晶分子的大小原因,精度不够,因此不适合纳米级芯片技术,这是他们后来经过实验,才明白这个道理的。
未完待续……