第53章 这是成功了吗？

    陆隐交代完注意事项和要求曾泉几人必须时刻记录下数据后，穿上无尘防护服，进入了实验室。

    再多的担心也无用，只有实验才能见真章。

    这台光刻机的雏形是所有实验的第一步，只有通过这次的试验，才能知道不足在哪儿。

    赵光誉运来的材料很多，他丝毫不担心失败后无材料可用。

    大厅中，赵光誉等人坐在休息区沙发上，透过大屏幕看着陆隐进入实验室后，一颗心瞬间提了起来，紧张得手心都出了汗。

    在场十几人，愣是无一人敢说话，甚至连呼吸声都不自觉放低，生怕打扰到实验室内的人。

    光刻机实验室内。

    陆隐站在一台巨大的机器面前，心中默默回想起组装光刻机的过程和细节。

    光刻机主要用来制造芯片，原理其实很简单，即曝光显影，光刻机中有个光源发光，把掩膜板上的集成电路图形通过镜头组，投射到涂有光刻胶的硅片上，让胶体感光硬化，版图成型。

    也因此，光刻机最核心的部分也主要分为镜头，光源和工件台。

    其中，成像镜头的作用是矫正投影时的光学像差，芯片制程越小，成像精度越高，镜片组成也越复杂，一台光刻机的镜头组，就包含25枚巨大的镜片，这些镜片以蔡司镜片最优，用惰性气体密封在金属镜筒中。

    而镜筒里，那些比锅盖还大的蔡司镜片造价极高，占整台机器成本的一半，这也是陆隐昨天向赵光誉申请的特殊材料之一。

    其次是与镜头搭配的dUV光源，是氟化氩准分子激光器，这一点得益于陆隐之前一直研究激光发射器，研究起来并不难，也算是占了先天优势。

    氟化氩准分子激光器利用高能电子束激发气体准分子，通过能级跃迁产生波长193纳米的深紫外光。

    工件台则是一个带硅片飞的平台，其中的“飞”并没有太多含义，也是字面上的飞。

    工件台本身就是一个动圈式的磁悬浮装置，下面的底板是磁铁排成的哈尔巴赫阵列，用来加强顶部的磁场。

    光刻机正式开始工作时，平台线圈通上强电几十多公斤重的工件台会悬浮起来，带着硅片做没有摩擦的高速移动，硅片平台移动的速度越快，效率也越高，飞速完成每一次对准矫正，和扫描曝光。

    为了得到更高的效率，陆隐准备了两台同时运转的工件台，一台做曝光扫描，一台做对准矫正。

    但光是准备这些还不够，一套完整的光刻流程还包括曝光前硅片涂胶和烘焙，以及曝光后的显影冲洗，所以陆隐还准备了涂胶显影的轨道机和光刻机联机作业。

    除此之外，还需要一台光学检测设备，通过照射硅片表面，收集反射光和衍射光，来分析套刻误差。

    以及一台用来做尺寸测量和缺陷检测机器，外国现在用来测量的机器大多都是Ep5和eScan600这两种，其他原理是用电子束扫描成像进行量测检测，但陆隐认为这两种机器效率都不高，直接采用了eScan1100，用多重电子束取代单电子束，增加扫描面积，加快检测速度。

    这些量测的数据不光是用来做事后的检测，还会被收集起来反馈到光刻机上，通过机身系统的算法，来及时调整照明参数，镜片位置，工件台的调焦调平情况，来改善后续的光刻质量。

    可以说，这里的每一台机器都是相辅相成，缺一不可。>
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